Verfahren zum Erzeugen einer Honeycomb-Textur an einer Oberfläche eines Substrates

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen einer Honeycomb-Textur an einer Oberfläche eines Substrates, welches Substrat ein Halbleitersubstrat einer photovoltaische Solarzelle oder einer Vorstufe im Herstellungsprozess einer photovoltaischen Solarzelle oder ein Substrat zur Verbesserung der optischen Eigenschaften einer oder mehrere photovoltaischer Solarzellen ist, folgende Verfahrensschritte umfassend: A Bereitstellen des Substrates, B Erzeugen einer Maskierungsschicht auf der Oberfläche des Substrates, welche Maskierungsschicht eine Mehrzahl von Öffnungen aufweist, C Ätzen des Substrates zumindest an den Öffnungsbereichen der Maskierungsschicht an der Oberfläche des Substrates zur Ausbildung einer Honeycomb-Textur und D Entfernen der Maskierungsschicht, Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass in Verfahrensschritt B die Maskierungsschicht durch Aufbringen eines Maskierungsmaterials auf die Oberfläche des Substrates erzeugt wird, wobei eine Vielzahl einzelner Tropfen des Maskierungsmaterials derart aufgebracht werden, dass die Mittelpunkte der Tropfen die Eckpunkte eines Wabengitters bilden