用于结合溅射靶部件的方法，所结合的溅射靶组件及其用途

摘要

本发明描述一种用于结合溅射靶的多个部件的方法，该方法包括下列步骤：提供一个第一部件和一个第二部件，较硬的部件具有一些切口突起；将它们相互抵靠进行定位；并且将它们相对彼此压制以引志这两个部件中的至少一个的材料塑性变形，填充这些切口由此产生互锁；还有如此产生的所结合的组件，以及其再利用。在所结合的表面区域的主要部分上产生除互锁之外的结合的步骤不是必需的。

主权项

用于将溅射靶的第一部件的连接面结合到溅射靶的第二部件的连接面上的一种方法，该方法包括以下步骤：提供一个第一部件和一个第二部件，至少较硬的部件在其连接表面上具有至少一个部分，该至少一个部分相对于该相同连接表面的至少另一个部分突出并且具有一个切口；对该第一部件的连接面和该第二部件的连接面进行定位使其互相抵靠；将该第一部件与该第二部件朝向彼此压制，从而引起该第一部件的连接面的区域以及第二部件的连接面的区域中的至少一者的材料塑性变形，至少部分地填充至少一个切口由此获得第二部件与第一部件的互锁，并且没有在所结合的表面区域的主要部分上产生除互锁之外的其他结合的步骤。