发明名称 一种悬臂式二次元量测设备三机一体量测机构
摘要 本实用新型公开了一种悬臂式二次元量测设备三机一体量测机构,其特征在于:包括整体固定治具,整体固定治具底部连接CCD量测平面镜头,且一侧连接探针夹持治具,探针夹持治具夹持探针手臂,探针手臂连接镭射探针,另一侧连接点镭射夹持治具,点镭射装置夹持治具上安装点镭射装置。本实用新型与现有技术相比的优点是:采用本实用新型的结构,量测能进行一次多工,可同时进行平面精密量测,非接触式镭射测高,接触式探针镭射量测。
申请公布号 CN202757586U 申请公布日期 2013.02.27
申请号 CN201220424539.6 申请日期 2012.08.24
申请人 昆山万像光电有限公司 发明人 张家齐
分类号 G01B11/00(2006.01)I 主分类号 G01B11/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种悬臂式二次元量测设备三机一体量测机构,其特征在于:包括整体固定治具,整体固定治具底部连接CCD量测平面镜头,且一侧连接探针夹持治具,探针夹持治具夹持探针手臂,探针手臂连接镭射探针,另一侧连接点镭射夹持治具,点镭射装置夹持治具上安装点镭射装置。
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