| 发明名称 | 一种用于涂胶及洗边检测的测试晶圆 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，包括：晶圆本体；第一标记，设置于所述晶圆本体表面的边缘，用于检测洗边工艺的洗边宽度；第二标记，设置于所述晶圆本体表面的中心，用于检测涂胶工艺中滴胶的位置。通过该测试晶圆可解决现有涂胶工艺中，无法快速准确的判断出滴胶的位置是否正确的问题，还可方便、快速的判断出洗边宽度是否符合洗边工艺要求；此外，还能避免洗边宽度检测过程中对晶圆的污染，提高了晶圆的生产良率。 | ||
| 申请公布号 | CN101894827B | 申请公布日期 | 2013.02.27 |
| 申请号 | CN200910051554.3 | 申请日期 | 2009.05.19 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 蒋国伟;张伟;潘贤俊;陈枫 |
| 分类号 | H01L23/544(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/544(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，其特征在于，包括：晶圆本体；第一标记，包括多个测试标记，所述多个测试标记均匀分布在所述晶圆本体表面的边缘，用于检测洗边工艺的洗边宽度；第二标记，设置于所述晶圆本体表面的中心，用于检测涂胶工艺中滴胶的位置。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||