用于化学机械研磨机台的制造程序控制方法及其控制系统

摘要

本发明提供一种用于化学机械研磨机台的制造程序控制方法及其控制系统，该方法包括：利用测量装置获取控片的边缘研磨速率和中心研磨速率，并将所述控片的边缘研磨速率和中心研磨速率传输至机台自动化系统；机台自动化系统计算所述控片的边缘研磨速率与中心研磨速率的差值，并将所述差值传输至菜单查找系统；菜单查找系统根据差值查找出最佳制造程序，并将最佳制造程序传输至化学机械研磨机台。本发明根据控片的边缘研磨速率与中心研磨速率的差值选择出最佳制造程序，化学机械研磨机台可根据最佳制造程序进行产品片的化学机械研磨工艺，提高了工艺稳定性。

主权项

一种用于化学机械研磨机台的制造程序控制方法，包括：利用测量装置获取控片的边缘研磨速率和中心研磨速率，并将所述控片的边缘研磨速率和中心研磨速率传输至机台自动化系统；所述机台自动化系统计算所述控片的边缘研磨速率与中心研磨速率的差值，并将差值传输至菜单查找系统，所述菜单查找系统内存储有多个制造程序；所述菜单查找系统根据所述差值查找出最佳制造程序，并将所述最佳制造程序传输至所述化学机械研磨机台；所述化学机械研磨机台包括保持环；所述多个制造程序中的每个制造程序包括研磨头转速、研磨垫转速以及操作压力；在所述多个制造程序中，研磨头转速以及研磨垫转速是相同的，施加给所述保持环的压力各不相同。