| 发明名称 |
FILTER APPARATUS, FILTER HOUSING METHOD, AND EXPOSURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20130019417(A) |
申请公布日期 |
2013.02.26 |
| 申请号 |
KR20127028905 |
申请日期 |
2011.04.04 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
KATSURA KOICHI;MATSUURA KEIJI;HORITA YOSHINARI;MASUKAWA TAKASHI |
| 分类号 |
B01D53/04;B01D46/00;B01D46/42;H01L21/027 |
主分类号 |
B01D53/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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