| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR WET TREATING DISC-LIKE SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20130019013(A) |
申请公布日期 |
2013.02.25 |
| 申请号 |
KR20137002303 |
申请日期 |
2004.06.17 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH AG |
发明人 |
OBWEGER RAINER;PFEUFFER ALEXANDER;KOFFLER MARTIN;LIPPERT ALEXANDER |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/00;H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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