测试装置、探针卡以及测试方法

摘要

本发明提供一种对被测试元件进行测试的测试装置，包括：多个驱动器，其各别所输出的测试信号供给至被测试元件的同一端子，藉此将多个测试信号所合成的多值信号供给至该端子；以及多个探针销，其与多个驱动器一对一地对应设置着，当对被测试元件进行测试时，各别的探针销的前端部电性连接至被测试元件的同一端子，以将对应的驱动器所输出的信号供给至被测试元件的该端子，且在被测试元件未被测试时，各别的探针销的前端部成为电性开放状态。