| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines piezokeramischen Biegewandlers |
| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines piezokeramischen Mehrschicht-Bauelements insbesondere eines Biegewandlers sowie ein piezokeramisches Mehrschicht-Bauelement herstellbar mit diesem Verfahren. |
| 申请公布号 |
DE102011081276(A1) |
申请公布日期 |
2013.02.21 |
| 申请号 |
DE20111081276 |
申请日期 |
2011.08.19 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
DENNELER, STEFAN;SCHUH, CARSTEN;STEINKOPF, THORSTEN;WOLFF, ANDREAS |
| 分类号 |
H01L41/331;H01L41/047;H01L41/083;H01L41/09;H01L41/39 |
主分类号 |
H01L41/331 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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