发明名称
摘要
申请公布号 JP5147149(B2) 申请公布日期 2013.02.20
申请号 JP20000589422 申请日期 1999.12.15
申请人 发明人
分类号 B65G47/46;B65G47/90;B65G1/00;B65G49/07;H01L21/677 主分类号 B65G47/46
代理机构 代理人
主权项
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