用于执行与管芯的图案对准的方法和装置

摘要

公开了一种用于在直接写入机中图案化设置有管芯的工件的方法，其中相对于写入器坐标系的按照定位和朝向的管芯的位置以及工件的定位和朝向的测量数据用于确定测量位置到在直接写入机的坐标系中定义的变换位置的变换。与选定的管芯或管芯组相关的图案数据根据原始图案数据和变换位置变换成经调整的电路图案数据，其中经调整的电路图案数据表示多个管芯或管芯组的电路图案，使得经调整的电路图案配合到工件区域的多个子区域，且其中每个子区域与分布在工件上的多个管芯当中的一个管芯或管芯组相关。然后，根据经调整的电路图案数据将图案写在工件上。

主权项

一种用于在直接写入机中图案化工件的一层的方法，其中所述直接写入机设置有用于控制写操作的坐标系，且所述工件具有分布在其上的管芯，其中分布在所述工件上的管芯与以原始电路图案数据的形式的电路图案相关；所述方法包括下列步骤：a.接收与所述工件相关并指示分布在所述工件上的多个管芯或管芯组相对于所述工件的至少一个基准特征的测量位置的测量数据；b.探测所述工件的所述至少一个基准特征；c.确定所述工件的所述至少一个基准特征和所述直接写入机的所述坐标系之间的关系；d.根据在所述工件的所述至少一个基准特征和所述直接写入机的所述坐标系之间的所述确定的关系将分布在所述工件上的所述多个管芯或管芯组的所述测量位置变换成在所述直接写入机的所述坐标系中定义的变换位置；e.根据所述原始图案数据和所述变换位置来准备用于写在所述工件上的经调整的电路图案数据，其中所述经调整的电路图案数据表示所述多个管芯或管芯组的电路图案，使得所述经调整的电路图案配合到工件区域的至少一部分；f.根据所述经调整的电路图案数据将图案写在所述工件上。