| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING SEMICONDUCTOR THIN FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2226836(A4) |
申请公布日期 |
2013.02.20 |
| 申请号 |
EP20080868995 |
申请日期 |
2008.12.25 |
| 申请人 |
SONY CORPORATION |
发明人 |
OHE, TAKAHIRO;KIMIJIMA, MIKI |
| 分类号 |
H01L21/368;H01L21/336;H01L29/786;H01L51/05;H01L51/40 |
主分类号 |
H01L21/368 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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