太阳能电池制造工艺中膜叠堆的烧蚀

摘要

本发明涉及用激光烧蚀太阳能电池(105)的介电膜叠堆。所述介电膜叠堆包括在激光源(102)的工作波长下具有吸收性的层。以一定的脉冲重复率发射激光脉冲(103)的所述激光源(102)被配置成烧蚀所述膜叠堆，以暴露下面的材料层。所述激光源(102)可被配置成在单个脉冲重复内发射两个激光脉冲的脉冲串或单个时间不对称的激光脉冲，从而在单个步骤中实现完全烧蚀。

主权项

一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：提供膜叠堆，所述膜叠堆包括第一膜和第二膜，所述第一膜在所述第二膜上形成，所述第一膜包含在激光源的工作波长下具有吸收性的材料；在以一定脉冲重复率发射的所述激光源的单个脉冲重复内，形成穿过所述第一膜和所述第二膜的孔，从而暴露所述第二膜下面的另一材料层。