一种可延长接触时间的微冲击开关及其制备方法

摘要

本发明公开了一种可延长接触时间的微冲击开关及其制备方法。本发明的微冲击开关包括：可动电极和固定电极；可动电极进一步包括质量块、质量块弹簧、第一锚点和触点；固定电极包括第二锚点和悬臂梁。本发明的微冲击开关，固定电极采用多对悬臂梁，降低了固定电极的刚度，并在可动电极的质量块的前端增加了一个触点弹簧，形成刚度较小的可动触点，这些结构均有利于增加质量块在接触状态下的运动位移，降低碰撞反弹效应，从而延长接触时间，提高器件稳定性和可靠性。本发明在汽车、电子、家电、机电等行业和军事领域有着极为广阔的应用前景。

主权项

一种微冲击开关，其特征在于，所述微冲击开关包括：可动电极（1）和固定电极（2）；所述可动电极（1）进一步包括质量块（11）、质量块弹簧（12）、第一锚点（13）和触点（14），所述可动电极（1）通过第一锚点（13）键合在衬底上，使得所述质量块（11）和质量块弹簧（12）悬空，在所述质量块（11）的前端设置有突出的触点（14）；所述固定电极（2）包括第二锚点（23）和悬臂梁（21），所述固定电极（2）通过第二锚点（23）键合在衬底上，所述固定电极（2）与触点（14）的接触面为悬臂梁（21），所述悬臂梁（21）的一端固定在第二锚点（23）上，另一端悬空。