发明名称 固体摄像元件
摘要 一种固体摄像元件,在斜向入射时,减低因向波导路内入射的光的角度增加导致的聚光损失及混色增加,在灵敏度提高方面具备有效的结构,其特征为,具备:Si基板(6);多个单位像素,配置于Si基板(6)上;布线层(4),形成于多个单位像素上;光波导区域(401),形成于单位像素中包含的光电变换区域上,并且穿透布线层(4);以及聚光元件(501),形成于光波导区域(401)上;聚光元件(501)是具有有效折射率分布的折射率分布型微透镜。
申请公布号 CN102105985B 申请公布日期 2013.02.13
申请号 CN200980127511.7 申请日期 2009.07.16
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 斋藤繁;田中圭介;岁清公明;广濑裕;石井基范
分类号 H01L27/14(2006.01)I;G02B3/08(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I 主分类号 H01L27/14(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 王成坤;胡建新
主权项 一种固体摄像元件,其特征为,具备:基板;多个单位像素,配置于上述基板上;布线层,形成于上述多个单位像素上;光波导区域,形成于上述单位像素中包含的光电变换区域上,并且穿透上述布线层;以及聚光元件,形成于上述光波导区域上;上述聚光元件是具有有效折射率分布的折射率分布型微透镜,上述聚光元件具有:第一区域,具备使入射光偏转的功能;以及第二区域,具备使入射光偏转及聚光的功能。
地址 日本大阪府