发明名称 一种纳米线忆阻器及其制作方法
摘要 本发明公开了一种纳米线忆阻器及其制作方法。该忆阻器器件包括:上电极;下电极;以及位于所述上电极与所述下电极之间的记忆存储层。该忆阻器器件的制作方法包括:提供一绝缘衬底;在该绝缘衬底上形成下电极;在所述下电极上合成纳米线作为记忆存储层;以及在所述纳米线记忆存储层上形成上电极。所述记忆存储层由单根纳米线构成,或者由纳米线阵列构成。本发明所公开的纳米线忆阻器器件尺寸小,能够实现更大的集成,并且该纳米线忆阻器器件结构和制备工艺简单。
申请公布号 CN102931344A 申请公布日期 2013.02.13
申请号 CN201110230870.4 申请日期 2011.08.12
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 刘明;李颖弢;龙世兵;刘琦;吕杭炳
分类号 H01L45/00(2006.01)I;G11C13/00(2006.01)I;B82Y10/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 主分类号 H01L45/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 周国城
主权项 一种纳米线忆阻器,其特征在于,包括:上电极;下电极;以及位于所述上电极与所述下电极之间的记忆存储层。
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号