发明名称 |
一种纳米线忆阻器及其制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种纳米线忆阻器及其制作方法。该忆阻器器件包括:上电极;下电极;以及位于所述上电极与所述下电极之间的记忆存储层。该忆阻器器件的制作方法包括:提供一绝缘衬底;在该绝缘衬底上形成下电极;在所述下电极上合成纳米线作为记忆存储层;以及在所述纳米线记忆存储层上形成上电极。所述记忆存储层由单根纳米线构成,或者由纳米线阵列构成。本发明所公开的纳米线忆阻器器件尺寸小,能够实现更大的集成,并且该纳米线忆阻器器件结构和制备工艺简单。 |
申请公布号 |
CN102931344A |
申请公布日期 |
2013.02.13 |
申请号 |
CN201110230870.4 |
申请日期 |
2011.08.12 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
刘明;李颖弢;龙世兵;刘琦;吕杭炳 |
分类号 |
H01L45/00(2006.01)I;G11C13/00(2006.01)I;B82Y10/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
主分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
周国城 |
主权项 |
一种纳米线忆阻器,其特征在于,包括:上电极;下电极;以及位于所述上电极与所述下电极之间的记忆存储层。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |