石英坩埚气泡膨胀评价装置

摘要

本实用新型公开了一种石英坩埚气泡膨胀评价装置，包括具有双层结构的真空钢包、设在所述真空钢包内的加热炉、维持所述真空钢包内所需压力的配气装置和电气控制系统，所述真空钢包中间的夹层内设有水冷腔，所述夹层底端和前端上侧均设有进水孔，顶端和前端下侧均设有出水孔；所述真空钢包底部设有进气孔，顶部设有出气孔，前端设有将所述真空钢包门与真空钢包腔体密封的法兰，后端与所述配气装置连接；所述加热炉炉体内设有加热元件，炉体上端设有温度计；所述电气控制系统分别与所述温度计和配气装置连接。本实用新型方便快捷，能模拟单晶拉制环境，观察石英坩埚透明层气泡膨胀状态；为石英坩埚的质量控制及技术改良提供有效的参考依据。

主权项

石英坩埚气泡膨胀评价装置，其特征在于：包括具有双层结构的真空钢包、设在所述真空钢包内的加热炉、维持所述真空钢包内所需压力的配气装置和电气控制系统，所述真空钢包中间的夹层内设有水冷腔，所述夹层底端和前端上侧均设有进水孔，顶端和前端下侧均设有出水孔；所述真空钢包底部设有进气孔，顶部设有出气孔，前端设有将所述真空钢包门与真空钢包腔体密封的法兰，后端与所述配气装置连接；所述加热炉炉体内设有加热元件，炉体上端设有温度计；所述电气控制系统分别与所述温度计和配气装置连接。