光刻照明用光瞳整形装置

摘要

一种光刻照明用光瞳整形装置，其特点在于包括转盘机构、连续变焦透镜组和控制器，所述的转盘机构沿圆周均匀地设有多个衍射光学元件，沿光刻机照明系统中产生的方形的入射光束方向依次是所述的转盘机构的衍射光学元件和连续变焦透镜组，所述的衍射光学元件位于所述的连续变焦透镜组的前焦面并垂直于装置的光轴，所述的控制器通过编码器精确控制所述的转盘机构的旋转和所述的衍射光学元件的移动，调节所述的连续变焦透镜组的焦距，在所述的连续变焦透镜组的像方焦面即光瞳面上形成所需的照明光瞳分布。本发明具有光学系统简单、光学透过率高、能克服现有光瞳整形装置因锥形镜组引入的光瞳劣化问题。

主权项

一种光刻照明用光瞳整形装置，其特征在于包括转盘机构（2）、连续变焦透镜组（3）和控制器（5），所述的转盘机构（2）沿圆周均匀地设有多个衍射光学元件，沿光刻机照明系统中产生的方形的入射光束（1）方向依次是所述的转盘机构（2）的衍射光学元件和连续变焦透镜组（3），所述的衍射光学元件位于所述的连续变焦透镜组（3）的前焦面并垂直于装置的光轴，所述的控制器（5）通过编码器精确控制所述的转盘机构（2）的旋转和所述的衍射光学元件的移动，通过所述的转盘机构（2）的旋转选择所需要的衍射光学元件以实现所需的照明方式，通过所述的衍射光学元件的移动，实现光瞳面（4）上的照明环带内径的调整；光刻机照明系统中产生的方形的入射光束（1）照射在所选定的衍射光学元件上，调节所述的连续变焦透镜组（3），改变透镜焦距实现照明光瞳面（4）上环带宽度的调节，在所述的连续变焦透镜组（3）的像方焦面即光瞳面（4）上形成所需的照明光瞳分布。