发明名称 |
一种面向集成电路生产线的多设备配方管理方法 |
摘要 |
本发明公开一种面向集成电路生产线的多设备配方管理方法,包括以下步骤:步骤1、启动配方服务器;步骤2、配方服务器建立配方索引表;步骤3、配方编辑界面首先从本地创建配方并上传至配方服务器;步骤4、配方服务器接收设备读取配方列表的指令;步骤5、配方界面程序指定配方的类型、设备编号和配方文件存储路径;步骤6、配方界面程序从配方服务器下载配方文件到本地;步骤7、生产线设备在加工配方前,将所需加工的配方文件从配方服务器下载到本地。本发明使用户无需修改代码就可实现对不同类型配方的管理,对配方适用的设备和配方存储路径进行指定,并且能够保证各设备每次加工的配方都是最新的配方文件,通用性强、便于管理、实时性强。 |
申请公布号 |
CN102930045A |
申请公布日期 |
2013.02.13 |
申请号 |
CN201210458178.1 |
申请日期 |
2012.11.15 |
申请人 |
沈阳中科博微自动化技术有限公司 |
发明人 |
王宏;张萌;林跃;康凯 |
分类号 |
G06F17/30(2006.01)I |
主分类号 |
G06F17/30(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 |
代理人 |
俞鲁江 |
主权项 |
一种面向集成电路生产线的多设备配方管理方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤1、启动配方服务器;配方服务器自动创建配方文件夹目录结构;步骤2、配方服务器建立配方索引表,供设备进行快速查询;步骤3、配方编辑界面首先从本地创建配方并上传至配方服务器,服务器在接收配方文件的同时,在配方索引表中添加新的配方数据;步骤4、配方服务器在接到设备读取配方列表的指令时,会判根据设备编号返回设备所需要的配方列表;步骤5、配方界面程序在新建配方时,需要指定配方的类型、适用设备编号和配方文件存储路径;步骤6、配方界面程序从配方服务器下载配方文件到本对其进行编辑,最后将修改后的配方文件上传到配方服务器;步骤7、生产线设备在加工配方之前,将想所需加工的配方文件从配方服务器下载到本地。 |
地址 |
110179 辽宁省沈阳市浑南新区文溯街17-8号 |