静电放电保护装置之制造方法

摘要

本发明系有关于一种静电放电保护装置之制造方法，其步骤系提供提供一N型井于一P型井之一侧；之后，形成一第一P型掺杂区于N型井中，并位于N型井之上方；再形成一第一N型掺杂区于N型井与P型井之间，并位于两者之上方；接下来形成一第二N型掺杂区于第一N型掺杂区之一侧，且位于第一P型之相对侧；再来形成一遮蔽层于P型井之上方，并位于第一N型掺杂区与第二N型掺杂区之间，以遮蔽第一N型掺杂区与第二N型掺杂区产生之寄生区域；接着形成于一氧化层遮蔽层之上方；之后，形成一导体层于氧化层之上方。如此，可避免产生寄生的掺杂区，进而避免静电放电保护装置损坏。