| 摘要 |
一种射频中空阴极电浆源产生装置，该装置系为一真空腔体(Chamber)，其内部系由一中空阴极电极、至少二个以上之气室、一气体导管、一冷却水导管及复数个输入电极所组成。该装置可针对输入之反应气体流场作含二级以上流向分布，以促使反应气体均匀分布于电极表面，并可以各种频率之射频电源(1~300MHz)引发电浆，将电浆经由中空阴极电极之孔洞集中往单方向扩散。在此射频中空阴极电浆源其电源之引入线及冷却水系由大气下直接引入真空中之中空阴极电极，因此系可减少驻波现象，以降低在真空中之放电相互干扰，使本发明可达到均匀分布电浆及反应自由基之目的，不仅可增强电浆之密度及均匀性，并具有高功率及较长之运作时间，可适用于高分子材料电浆活化处理制程、各式PECVD镀膜处理及电浆表面处理应用，以大量提升处理速‘率及均匀性。 |
