发明名称 |
图案化金属氧化物层的制作方法 |
摘要 |
一种图案化金属氧化物层的制作方法,其是先提供一基板。然后,对此基板进行一表面改质步骤。接着,对基板进行一数位印刷步骤,于预形成图案化金属氧化物层之区域涂布催化剂。之后,进行一低温化学镀膜步骤,以于基板上的预形成图案化金属氧化物层之区域,沈积图案化金属氧化物层。 |
申请公布号 |
TWI385267 |
申请公布日期 |
2013.02.11 |
申请号 |
TW097111521 |
申请日期 |
2008.03.28 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
发明人 |
杨明桓;宋兆峰;陈文隽;李裕正;郑兆凯 |
分类号 |
C23C16/04;H01L21/027 |
主分类号 |
C23C16/04 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
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地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |