发明名称 图案化金属氧化物层的制作方法
摘要 一种图案化金属氧化物层的制作方法,其是先提供一基板。然后,对此基板进行一表面改质步骤。接着,对基板进行一数位印刷步骤,于预形成图案化金属氧化物层之区域涂布催化剂。之后,进行一低温化学镀膜步骤,以于基板上的预形成图案化金属氧化物层之区域,沈积图案化金属氧化物层。
申请公布号 TWI385267 申请公布日期 2013.02.11
申请号 TW097111521 申请日期 2008.03.28
申请人 财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 发明人 杨明桓;宋兆峰;陈文隽;李裕正;郑兆凯
分类号 C23C16/04;H01L21/027 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号