| 摘要 |
本发明系在揭露一种崭新的透光性导电陶瓷薄膜材料(N型ZnO：AlSc)及其制程。在真空及适当控制气氛下，氧化锌和含铝、钪合金两种靶材分别在射频(Radio frequency,RF)与直流电(Direct current DC)调控功率下，在玻璃基板上进行混合溅镀，可以获得N－型ZnO：Al(x)Sc单层薄膜，厚度可控制在100－200 nm。亦可溅镀制作成ZnO：Al(x%)Sc/ZnO：Al或ZnO：Al/ZnO：Al(x%)Sc等双层膜，甚至经重复溅镀而得多层膜。此类薄膜无论是在透光性(可见光范围300~800nm穿透率高达85%以上以及400~600nm有低反射)与导电性(电阻率1.76~0.6 Ω－cm)均具良好特性。就耐腐蚀性而言，此薄膜优于单纯之AZO薄膜，亦比传统铟锡氧化物薄膜更具抗蚀性。此类薄膜在平面显示器与薄膜太阳能电池的制造极具应用价值。 |
