| 摘要 |
本发明提供一种用以增强冲击验证之无背板矽麦克风与一引线防护方法。圆形震动膜是被具有数个狭缝与穿孔之圆形弹簧围绕着，以助于空气阻尼的降低，而释放入平面的应力与增加出平面的弹性。圆形弹簧固定在基板上维持矽麦克风悬挂于基底内之背孔上方，但是允许震动膜垂直于基底震动。一麦克风可变电容是形成于穿孔弹簧与基底间。狭缝的尺寸是微小化，以防止微粒进入下方的空气间隔。数个邻近于该圆形弹簧外部边缘的”n”接合垫是与”n/2”打线连接，以作为一制动装置，抑制震动膜向上移动。打线可以越过其它者，以进一步降低环路高度，以更有效抵抗冲击。 |
