| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum Betreiben eines dynamischen Nanofokussiersystems für dessen Anwendung im Bereich der Mikroskopie, Interferometrie oder dergleichen Applikationen, wobei das Nanofokussiersystem einen hebelübersetzten Piezoaktor sowie eine reibungsfreie Führung auf der Basis eines elastisch deformierbaren Festkörpergelenks aufweist, welches mit einer Aufnahmeeinheit, insbesondere für ein Objektiv in Verbindung steht, um die gewünschten Stellwege zur Fokussierung zu realisieren. Erfindungsgemäß ist zur Erhöhung der Dynamik beim Fokussiervorgang der primären Verstellbewegung eine sekundäre Feinverstellbewegung mit geringerem Verstellweg, jedoch höherer Frequenz überlagert, wobei während des Ausführens der Feinverstellung festgestellt wird, ob sich das Fokussierergebnis verändert, um hiernach den Betrag und/oder die Richtung der primären Verstellbewegung vorzugeben. |
