DICKENEINSTELLVORRICHTUNG FÜR DIE DÜNNFILMBESCHICHTUNG

摘要

Eine Dickeneinstellvorrichtung für die Dünnfilmbeschichtung wird offenbart. Die Dickeneinstellvorrichtung für die Dünnfilmbeschichtung umfasst eine Beschichtungsvorrichtung, eine Unterstützungsanordnung und eine Dickeneinstelleinheit. Die Beschichtungsvorrichtung umfasst einen Werkstückförderer, der ein Werkstück liefert, und eine Materialversorgungseinheit, die ein Beschichtungsmaterial auf einer Oberfläche des Werkstücks aufträgt, um einen Film auszubilden. Die Unterstützungsanordnung ist mit der Beschichtungsvorrichtung verbunden, während die Dickeneinstelleinheit in die Unterstützungsanordnung eindringt und an dieser montiert ist. Die Dickeneinstelleinheit umfasst ein Streichteil, das entsprechend dem Werkstück angeordnet ist und verwendet wird, um zum Ausbilden des Films das Beschichtungsmaterial aufzubringen. Die Dicke des Films wird entsprechend einer Steuerungskraft oder eines Steuerungsdrehmoments der Dickeneinstelleinheit, die nach unten drückt, eingestellt. Deshalb wird der Film gleichmäßig auf das Werkstück aufgetragen und die Filmbeschichtungsqualität ist verbessert.