半导体产品级别控制的方法与系统

摘要

本发明揭示一种半导体产品级别控制的方法，应用于制造集成电路元件，其中，产品级别与集成电路所呈现一种或多种特性有关，半导体产品级别控制的方法包括：对多个晶片批次，执行多个工艺；决定所需产品级别数量、现有产品级别数量与生产中产品级别数量；将已决定的所需产品级别数量，与已决定的现有产品级别数量以及已决定的预估生产中产品级别数量作比较；以及若已决定的现有产品级别数量与已决定的预估生产中产品级别数量无法满足已决定的所需产品级别数量，则修正晶片批次的工艺中的至少一者。本发明的方法能有效控制产品级别的数量并能动态地迎合客户的产品级别需求。

主权项

一种半导体产品级别控制的方法，应用于制造集成电路元件，其中一产品级别与一集成电路所呈现的一种或多种特性有关，上述方法包括：在对多个晶片批次，执行多个工艺之后，决定一所需产品级别数量、一现有产品级别数量与一生产中产品级别数量；将已决定的上述所需产品级别数量，与已决定的上述现有产品级别数量以及已决定的预估生产中产品级别数量作比较，以便在已决定的上述现有产品级别数量与已决定的上述预估生产中产品级别数量无法满足已决定的上述所需产品级别数量的情况下，修正上述晶片批次的上述工艺中的至少一者；其中，将已决定的上述所需产品级别数量，与已决定的上述现有产品级别数量以及已决定的上述生产中产品级别数量作比较的步骤包括执行一差异分析；其中，执行上述差异分析的步骤包括：产生包括一产品级别报告的一半成品报告；根据包括上述产品级别报告的上述半成品报告，计算上述每一晶片批次的一产品级别数量；将上述每一晶片批次的上述产品级别数量与上述所需产品级别数量作比较；计算上述半成品的一所需周期时间；以及根据上述半成品报告的一所需周期时间，决定一产品输入输出计划。