Aparato de sujeción rotatoria de oblea

摘要

Aparato de sujeción rotatorio de oblea que comprende:un disco rotatorio (12) en el que se forma una trayectoria de flujo de fluido;un orificio pasante (14) formado en una sección central del disco rotatorio; ypalas (16) en la superficie superior de dicho disco rotatorio (12);una placa deflectora (46) prevista en la superficie superior de dicho disco rotatorio y por encima del orificiopasante (14) formado en una sección central del disco rotatorio (12) de tal manera que un fluido (A)suministrado sobre la superficie superior del disco rotatorio (12) que pasa a través del orificio pasante (14)se guía en la dirección de pala con la placa deflectora (46); yuna pluralidad de apoyos de oblea (18) previstos en una superficie superior del disco rotatorio (12), en elque una oblea se sitúa sobre los apoyos de oblea (18), por encima del disco rotatorio con una separaciónentre ambos, y en el que cuando el disco rotatorio (12) se hace rotar, un fluido en la trayectoria de flujo defluido (A) (36) se descarga hacia fuera por la fuerza centrífuga debida a la rotación; de este modo se creauna presión reducida en la trayectoria de flujo de fluido (A) (36) Y se mantiene siempre que el disco rotatorio(12) se hace rotar, a través de un proceso en el cual un fluido (A) se aspira por la fuerza de succión de lapresión reducida desde el lado de superficie inferior del disco rotatorio (12) a través del orificio pasante (14),y el fluido aspirado se suministra sobre la superficie superior del disco rotatorio (12) para descargarse haciafuera de manera continua pasando a través de la trayectoria de flujo de fluido (A) (36), con el resultado deque la oblea se arrastra hacia abajo por la fuerza de succión de la presión reducida y se sostiene confuerza sobre los apoyos de oblea mientras rota.