发明名称 折射率分布测量方法和折射率分布测量装置
摘要 一方法包括:通过将基准光引入到被布置在折射率与测试对象的折射率不同的介质中的测试对象中来测量测试对象的透过波面,以及通过使用透过波面的测量结果来计算测试对象的折射率分布。测量步骤测量对于第一波长的第一透过波面和对于与第一波长不同的第二波长的第二透过波面。计算步骤通过利用第一透过波面和第二透过波面的测量结果以及被布置在介质中的基准对象的对于第一波长和第二波长中的每一个的透过波面来去除测试对象的形状成分,计算测试对象的折射率分布。基准对象具有与测试对象相同的形状和特定的折射率分布。
申请公布号 CN102918373A 申请公布日期 2013.02.06
申请号 CN201180024878.3 申请日期 2011.05.19
申请人 佳能株式会社 发明人 杉本智洋
分类号 G01M11/02(2006.01)I;G01M11/00(2006.01)I;G01N21/45(2006.01)I 主分类号 G01M11/02(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 罗银燕
主权项 一种折射率分布测量方法,包括以下步骤:通过将基准光引入到被布置在折射率与测试对象的折射率不同的介质中的测试对象中来测量测试对象的透过波面;以及通过使用透过波面的测量结果来计算测试对象的折射率分布,其中,测量步骤测量对于第一波长的第一透过波面和对于与第一波长不同的第二波长的第二透过波面,以及其中,计算步骤通过利用第一透过波面和第二透过波面的测量结果以及被布置在所述介质中的基准对象的对于第一波长和第二波长中的每一个的透过波面来去除测试对象的形状成分,计算测试对象的折射率分布,基准对象具有与测试对象相同的形状和特定的折射率分布。
地址 日本东京