锍化合物、光致产酸剂及抗蚀剂组合物

摘要

本发明涉及锍化合物、光致产酸剂及抗蚀剂组合物。具体而言，本发明提供了由式(1)表示的锍化合物、包含所述锍化合物的光致产酸剂以及包含所述光致产酸剂的抗蚀剂组合物。其中在式1中，X表示给电子基团；R₁和R₂各自独立地表示烷基等；R₄至R₆各自独立地表示烷基等；R₃表示亚环烯基等；且^-A表示阴离子。所述锍化合物具有可通过向一个分子中的阳离子区域引入不同的吸收体而控制的光子产额，当所述锍化合物用作光致产酸剂时可克服使用不同的光致产酸剂的混合物的不便，具有优异的在抗蚀剂中的可混性且具有提高的分辨率和线边缘粗糙度。

主权项

1.由下式(1)表示的锍化合物：[化学式1]其中在式(1)中，X表示给电子基团；R₁和R₂各自独立地表示选自烷基、环烷基、芳基、杂烷基、杂环烷基和杂芳基中的任意一种，或者R₁和R₂可与同R₁键合的硫原子一起结合以形成具有2至7个碳原子的杂环烷基；R₄至R₆各自独立地表示选自烷基、环烷基、芳基、杂烷基、杂环烷基和杂芳基中的任意一种，或者R₄和R₅可与同R₄键合的硫原子一起结合以形成具有2至7个碳原子的杂环烷基；R₃表示选自亚环烯基、亚杂环烯基、亚芳基和亚杂芳基中的任意一种；且^-A表示阴离子。