沉积源组件和有机层沉积设备

摘要

本发明提供了一种沉积源组件、一种有机层沉积设备、一种通过利用所述有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法和一种利用所述制造有机发光显示装置的方法制造的有机发光显示装置。这里，所述有机层沉积设备包括沉积源组件。沉积源组件包括：第一沉积源，用于排放沉积材料；第二沉积源，堆叠在第一沉积源上，并且排放与第一沉积源排放的沉积材料不同的沉积材料；第二沉积源喷嘴单元，设置在第二沉积源的面对沉积目标的侧面，并且包括多个第二沉积源喷嘴；第一沉积源喷嘴单元，设置在第二沉积源的面对沉积目标的侧面，并且包括形成为穿过第二沉积源的多个第一沉积源喷嘴。

主权项

一种沉积源组件，所述沉积源组件包括：第一沉积源，用于排放沉积材料；第二沉积源，堆叠在第一沉积源上，第二沉积源用于排放与第一沉积源排放的沉积材料不同的沉积材料；第二沉积源喷嘴单元，设置在第二沉积源的面对沉积目标的侧面，并且包括多个第二沉积源喷嘴；第一沉积源喷嘴单元，设置在第二沉积源的面对沉积目标的所述侧面，并且包括形成为穿过第二沉积源的多个第一沉积源喷嘴。