一种减少蓝宝石生长炉内挥发物的方法

摘要

本发明涉及人造蓝宝石技术领域，是一种减少蓝宝石生长炉内挥发物的方法，包括以下步骤：⑴在完成人造蓝宝石生长的准备工作后开启机械泵；⑵开启可变频分子泵；⑶关闭分子泵并向炉内充入高纯氩气；⑷在控制系统中设定炉内真空压力值；⑸分子泵运行使炉内真空压力与设定值相符；⑹炉内真空压力达到设定值后开始加热升温；本发明的积极效果是：通过使用可变频分子泵提高蓝宝石生长炉炉内的压力，热场挥发物和籽晶上粘附的挥发物明显减少，引晶质量有较大提高，同时，降低了真空系统的能耗；加入惰性气体后减少了炉内挥发物的残留，能有效保护炉内热场不被氧化；本发明的方法工艺步骤合理，容易操作。

主权项

一种减少蓝宝石生长炉内挥发物的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）完成准备工作后开启机械泵；（2）在所述机械泵运行后，当条件满足时开启分子泵；（3）当蓝宝石生长炉炉内压力达到10‑4pa时，关闭所述的分子泵，同时向炉内充入高纯氩气5N；（4）当蓝宝石生长炉炉内压力达到103pa时开启所述分子泵，并在控制系统中设定炉内真空压力为10‑2pa；（5）让所述分子泵运行，使蓝宝石生长炉炉内真空压力与步骤（4）设定的真空压力值相符；（6）当蓝宝石生长炉炉内真空压力达到设定值且所述分子泵频率稳定的时候开始加热。