发明名称 浮体场效电晶体及形成浮体场效电晶体之方法
摘要 在一实施例中,一种浮体场效电晶体包括一对源极/汲极区域,一浮体通道区域收纳于其之间。该等源极/汲极区域及该浮体通道区域系收纳于一绝缘体上。一闸电极接近于该浮体通道区域。一闸极介电质收纳于该闸电极与该浮体通道区域之间。该浮体通道区域具有一半导体含SixGe(1-x)区域。该浮体通道区域具有一收纳于该半导体含SixGe(1-x)区域与该闸极介电质之间的半导体含矽区域。该半导体含SixGe(1-x)区域具有大于该半导体含矽区域内之任何Ge量之Ge量。预期其他实施例,包括形成浮体场效电晶体之方法。
申请公布号 TWI384624 申请公布日期 2013.02.01
申请号 TW097138344 申请日期 2008.10.03
申请人 美光科技公司 美国 发明人 刘峻;李迪;麦可P 凡欧里特;钱德拉 毛利;霍德 克许
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 美国