光阻过滤器之预湿系统

摘要

一种光阻过滤器之预湿系统，其包括：一用以储存一光阻溶剂的储存槽；一泵用以将该储存槽内的光阻溶剂引出，且控制前述光阻溶剂流至一光阻过滤器；或一泵或复数个泵用以将该储存槽内的光阻溶剂引出，且搭配复数个控制阀，其连接于前述的泵，且各控制前述光阻溶剂流至一光阻过滤器；以及一控制装置，用以控制该泵流至该光阻过滤器的光阻溶剂量。藉此提供单个或多个的光阻过滤器预湿用的装置系统，用以使用光阻溶剂先浸泡单一或多个不同规格的新光阻过滤器。