金属烷氧化合物、薄膜形成用原料及薄膜之制造方法

摘要

本发明系具有于气化步骤之薄膜之制造方法中，对于对薄膜供给钛、锆及铪之前驱物赋予适合作为薄膜形成用原料、尤其是适合作为CVD用原料之因热及/或氧化引起之分解特性、热稳定性、蒸气压等性质。本发明提供一种由下述通式(1)所表示之金属烷氧化合物：;(1);(式中，R1~R8分别独立表示氢原子或甲基，M表示钛、锆或铪原子)。