| 摘要 |
本发明系一种聚合性酸不稳定酯化合物，其系以下述一般式(1)~(4)中任一表示之结构上不会因β－脱离产生酸分解者，;【化1】;(1) (2) (3) (4);(式中，A1系具有碳－碳双键之聚合性官能基，R1系氢原子或－C－(R5)3；R2、R3系烷基，R4系氢原子或烷基，R5系一价烃基，X系伸烷基，Y系伸甲基、伸乙基或异丙叉基，Z系伸烷基，与在两端键结之3碳链共同形成4~7员环。n为1或2；R1~R5、X、Y及Z系不含碳原子及氢原子以外之杂原子)。;含有本发明之聚合性物之光阻材料系高感度，具有高解像性能，特别是适合超LSI制造用之形成微细图型之材料。 |
