远距光谱仪的连接结构

摘要

一种远距光谱仪的连接结构，此远距光谱仪的连接结构可透过USB伺服器将终点检测(endpoint detection,EPD)控制器连接至以USB介面形式安装于反应室中的远距光谱仪，以克服由USB电缆的有效长度产生的限制，并且将光谱仪产生的资料稳定地传输至EPD控制器，藉此提高制程反应室发射之电浆发射的监测效率。