| 摘要 |
〔课题〕提供一种三次元计测装置及基板检查机，其;可加大能测定之高度范围，且可实现高精度之计测，并可将拍摄次数抑制在最小的限度，进而可实现提升计测(或检查)效率。;〔解决手段〕基板检查机1具备：用以载置印刷有焊;膏的印刷基板K的输送带2；从斜上方照射预定之光图案的照射手段3；拍摄被照射之区域的CCD照相机4；及控制装置7。虽藉由移相法对计测对象部之高度进行计测，但在此之前藉由空间码化法来特定相当于对应计测对象部之条纹的空间码编号。另外，预先读入图库资料，并根据计测对象部之大致的高度来决定空间码化法用之拍摄次数。能以最小限度之拍摄次数来实现高精度之三次元计测。 |
