INSTALLATION ET PROCEDE DE TRAITEMENT D'UN OBJET PAR UN GENERATEUR DE PLASMA

摘要

Cette installation (10) de traitement d'une surface d'un objet (14) comprend une chambre à vide (12), dans laquelle l'objet (14) est destiné à être placé et des moyens de traitement (32) en communication avec la chambre à vide (12) de la surface de l'objet (14) comportant des moyens de bombardement ionique comprenant un générateur de plasma (34). L'installation comprend de plus des moyens de traitement par plasma comprenant un générateur de plasma (34). Le générateur de plasma (34) est commun aux moyens de bombardement ionique et aux moyens de traitement par plasma. L'invention concerne également un procédé de traitement d'une surface d'un objet ainsi que l'objet obtenu par ce procédé.