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Ein Laserstrahlleuchtfleckform-Detektierverfahren zum Detektieren der Leuchtfleckform eines Laserstrahls. Das Laserstrahlleuchtfleckform-Detektierverfahren weist einen Lichtintensitätsdetektierschritt von Bewegen eines Tisches, der ein Detektionssubsist, in eine X-Richtung und eine Y-Richtung unter der Bedingung auf, dass ein Laserstrahl, der durch eine Fokussierlinse fokussiert ist, auf eine Fläche des Detektionssubstrats aufgebracht wird, wo die lumineszierende Substanz angeordnet ist, und Detektieren der Intensität von Licht, das von der lumineszierenden Substanz während der Bewegung des Tisches emittiert wird, einen Lichtintensitätskartenvorbereitungsschritt von Vorbereiten einer Lichtintensitätskarte, welche die Lichtintensitäten angibt, die in dem Lichtintensitätsdetektierschritt an all den X- und Y-Koordinaten der lumineszierenden Substanz detektiert worden sind, und einen Leuchtfleckformbildausbildungsschritt zum Ausbilden von Leuchtfleckformbildern des Laserstrahls gemäß mehreren Lichtintensitätskarten, die durch Positionieren der Fokussierlinse an mehreren Detektionspositionen erhalten sind, die in einer Z-Richtung senkrecht zu einer Halteoberfläche des Tisches verschoben sind, und Durchführen des Lichtintensitätsdetektierschritts und des Licht intensitätskartenvorbereitungsschritt an den mehreren Detektionspositionen auf. |
