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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0411736(A) 申请公布日期 1992.01.16
申请号 JP19900113057 申请日期 1990.04.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KUROI TAKASHI
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/322;H01L21/74;H01L21/762;H01L21/8242 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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