编带内裸硅芯片检测用组合光源

摘要

本实用新型公开了一种编带内裸硅芯片检测用组合光源，包括有壳体，壳体的底部敞口，壳体内固定安装有散光板，散光板上分别固定安装有多组光源，每组光源分别包括有LED阵列；壳体的下方设有待检测芯片，多组光源发出的漫散射光垂直照射在待检测芯片上，壳体和散光板的中部分别设有观测窗口。本实用新型采用组合式漫散射结构，垂直照射下的漫散射光能有效消除盖膜反光影响；另外，本实用新型具有多组光源，提高了系统检出率，降低了系统误检率，最终大幅提高整个检测设备的检测性能。

主权项

一种编带内裸硅芯片检测用组合光源，包括有壳体，其特征在于：所述壳体的底部敞口，所述的壳体内固定安装有散光板，所述的散光板上分别固定安装有多组光源，每组光源分别包括有LED阵列；所述壳体的下方设有待检测芯片，所述多组光源发出的漫散射光垂直照射在待检测芯片上，所述壳体和散光板的中部分别设有观测窗口。