XY两坐标气浮定位平台

摘要

一种XY两坐标气浮定位平台，其特征是包括底座、X轴基座（2）、X轴导向导轨（3）、X轴直线电机定子（4）、Y轴基座（6）、Y轴直线电机定子（7）、Y轴导向导轨（8）、X轴滑台（5）、Y轴滑台（9）和工作平台（10），底座上采用螺栓固定连接的方式安装了X轴基座（2）和Y轴基座（6），X轴基座（2）上通过螺栓固定连接的方式安装X轴导向导轨（3）和X轴直线电机定子（4）。本实用新型特点是启用气浮支撑形式，平台相对运动部分用一定刚度的气膜隔开，系统无摩擦，采用直线电机驱动的方式，避免高速运动下，质心偏转导致传动副精度降低的问题，提高平台定位精度、速度和加速度，满足工业要求。

主权项

一种XY两坐标气浮定位平台，其特征是包括底座、X轴基座（2）、X轴导向导轨（3）、X轴直线电机定子（4）、Y轴基座（6）、Y轴直线电机定子（7）、Y轴导向导轨（8）、X轴滑台（5）、Y轴滑台（9）和工作平台（10），底座上采用螺栓固定连接的方式安装了X轴基座（2）和Y轴基座（6），X轴基座（2）上通过螺栓固定连接的方式安装X轴导向导轨（3）和X轴直线电机定子（4），Y轴基座（6）上通过螺栓固定连接的方式安装Y轴导向导轨（8）和Y轴直线电机定子（7），X轴滑台（5）包括X轴电机动子（11）、X轴工作导轨（12）、中间平台（13）和中间导轨（14），Y轴滑台（9）包括Y轴直线电机动子（15）、Y轴工作导轨（16）、Y轴平台（17）、驱动连杆（18）、第一气浮滑块（19）和第二气浮滑块（20），工作平台（10）包括工作导轨（21）、第三气浮滑块（22）和第四气浮滑块（23），X轴直线电机定子（4）和Y轴直线电机定子（7）分别固定在X轴基座（2）和Y轴基座（6）上。