基于MEMS技术的低频振动加速度传感器系统

摘要

本实用新型公开了一种基于MEMS技术的低频振动加速度传感器系统，包括基于MEMS技术的加速度传感器敏感元件、信号传输线、低通滤波电路和模数转换电路，所述基于MEMS技术的传感器敏感元件的信号输入端用于感应外部结构振动信号，信号输出端通过信号传输线连接低通滤波电路的信号输入端；低通滤波电路的信号输出端通过模数转换电路用于连接数据采集装置的微处理器电路。本实用新型结构简单，测试动态响应好、测试精度高、重复稳定性好、抗干扰能力强。本实用新型适用于对工业测控领域内结构低频振动加速度信号的感知和处理。

主权项

一种基于MEMS技术的低频振动加速度传感器系统，其特征在于：包括基于MEMS技术的传感器敏感元件、信号传输线、低通滤波电路和模数转换电路； 所述基于MEMS技术的传感器敏感元件的信号输入端用于感应外部结构振动信号，信号输出端通过信号传输线连接低通滤波电路的信号输入端； 低通滤波电路的信号输出端通过模数转换电路用于连接数据采集装置的微处理器电路。