发明名称 FABRICATION OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH07131028(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930295927 申请日期 1993.11.02
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 SHIMOMAKI SHINICHI
分类号 H01L21/8238;H01L21/265;H01L21/336;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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