| 发明名称 | 非制冷红外探测器及制备方法 | ||
| 摘要 | 非制冷红外探测器及制备方法，属于电子材料与元器件技术领域。本发明包括衬底、热敏感单元，热敏感单元包括热敏感薄膜和电极，热敏感薄膜的厚度为50nm-5um，所述热敏感薄膜的材料为VOx1，或非晶硅，或钛酸锶钡(Bax2Sr1-x2)TiO3，或锆钛酸铅Pb(Zrx3Ti1-x3)O3，或掺镧锆钛酸铅(Pby1La1-y1)(Zrx4Ti1-x4)O3，或钽钪酸铅Pb(Tax5Sc1-x5)O3;其中，1<x1≤2.5，0.5≤x2≤0.9，0≤x3<0.9，0.2<x4<0.5，0.9<y1<1，0.2<x5<0.9。本发明有良好的红外响应性能。 | ||
| 申请公布号 | CN102901565A | 申请公布日期 | 2013.01.30 |
| 申请号 | CN201210235653.9 | 申请日期 | 2012.07.09 |
| 申请人 | 电子科技大学 | 发明人 | 吴传贵;蔡光强;罗文博;彭强祥;孙翔宇;柯淋;张万里;王小川 |
| 分类号 | G01J5/00(2006.01)I | 主分类号 | G01J5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 成都惠迪专利事务所 51215 | 代理人 | 刘勋 |
| 主权项 | 非制冷红外探测器，包括衬底（6）、热敏感单元（8），其特征在于，热敏感单元（8）包括热敏感薄膜（3）和电极（2），热敏感薄膜（3）的厚度为50nm‑5um，所述热敏感薄膜（3）的材料为VOx1，或非晶硅，或钛酸锶钡(Bax2Sr1‑x2)TiO3，或锆钛酸铅Pb(Zrx3Ti1‑x3)O3，或掺镧锆钛酸铅(Pby1La1‑y1)(Zrx4Ti1‑x4)O3，或钽钪酸铅Pb(Tax5Sc1‑x5)O3；其中，1<x1≤2.5，0.5≤x2≤0.9，0≤x3<0.9，0.2<x4<0.5，0.9<y1<1，0.2<x5<0.9。 | ||
| 地址 | 610000 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号 | ||