发明名称 |
化学气相沉积设备 |
摘要 |
本实用新型涉及一种化学气相沉积设备。所述化学气相沉积设备包括腔体、冷却装置、设置在所述腔体内的顶板和衬底支撑座,所述顶板与所述衬底支撑座相对设置,所述顶板具有与所述衬底支撑座相对的第一表面,所述衬底支撑座具有面向所述顶板的衬底支撑面,待处理衬底设置与所述衬底支撑面,所述冷却装置用于冷却所述顶板,其特征在于:所述冷却装置包括至少两个冷却单元,每个冷却单元对应所述顶板的不同区域,所述至少两个冷却单元相互独立地对所述顶板进行冷却以控制所述第一表面的温度分布。本实用新型的CVD设备可以使得衬底支撑座的衬底支撑面上的温度快速达到均匀分布或达到其要求的分布。 |
申请公布号 |
CN202705462U |
申请公布日期 |
2013.01.30 |
申请号 |
CN201220385378.4 |
申请日期 |
2012.08.03 |
申请人 |
光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 |
发明人 |
梁秉文 |
分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
王宏婧 |
主权项 |
一种化学气相沉积设备,其包括腔体、冷却装置、设置在所述腔体内的顶板和衬底支撑座,所述顶板与所述衬底支撑座相对设置,所述顶板具有与所述衬底支撑座相对的第一表面,所述衬底支撑座具有面向所述顶板的衬底支撑面,待处理衬底设置与所述衬底支撑面,所述冷却装置用于冷却所述顶板,其特征在于:所述冷却装置包括至少两个冷却单元,每个冷却单元对应所述顶板的不同区域,所述至少两个冷却单元相互独立地对所述顶板进行冷却以控制所述第一表面的温度分布。 |
地址 |
314300 浙江省嘉兴市海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼 |