发明名称
摘要
申请公布号 JP2965737(B2) 申请公布日期 1999.10.18
申请号 JP19910085477 申请日期 1991.04.17
申请人 APURAIDO MATERIARUZU INC 发明人 HAIMU NURUMAN;DAN MEIDAN
分类号 H01L21/66;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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