发明名称 |
采用sigma-delta调制的微机械旋转率传感器正交和共振频率的解耦控制方法 |
摘要 |
本发明涉及一种用于微机械旋转率传感器的准确测量操作的方法,所述传感器包括至少一个震动质量、用于以主要模式(q<sub>1</sub>)驱动该震动质量的至少一个驱动设备、以及共同地与震动质量直接或间接地相关联的至少三个修整电极元件(1)。在所述修整电极元件(1)和所述震动质量之间施加电修整电压(u<sub>1</sub>,u<sub>2</sub>,u<sub>3</sub>,u<sub>4</sub>)。根据共振频率操纵变量<img file="DDA00002407665000011.GIF" wi="257" he="70" />正交操纵变量<img file="DDA00002407665000012.GIF" wi="254" he="69" />和重置变量<img file="DDA00002407665000013.GIF" wi="101" he="56" />来调节这些电修整电压(u<sub>1</sub>,u<sub>2</sub>,u<sub>3</sub>,u<sub>4</sub>)中的每一个。 |
申请公布号 |
CN102893127A |
申请公布日期 |
2013.01.23 |
申请号 |
CN201180024166.1 |
申请日期 |
2011.03.17 |
申请人 |
大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司;阿尔布莱希特-路德维希-弗莱堡大学 |
发明人 |
M·埃格雷兹博格;A·库吉;F·迈尔;M·莫勒;Y·马诺利;T·诺瑟曼 |
分类号 |
G01C19/56(2012.01)I |
主分类号 |
G01C19/56(2012.01)I |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 11247 |
代理人 |
杨晓光;于静 |
主权项 |
1.一种用于微机械旋转率传感器的准确测量操作的方法,所述微机械旋转率传感器包括至少一个震动质量、用于以主要模式(q<sub>1</sub>)驱动所述震动质量的至少一个驱动设备、以及共同地与所述震动质量直接或间接地相关联的至少三个修整电极元件(1),其中,在这些修整电极元件(1)中的每一个与所述震动质量之间施加电修整电压(u<sub>1</sub>,u<sub>2</sub>,u<sub>3</sub>,u<sub>4</sub>),其特征在于:根据共振频率操纵变量<img file="FDA00002407664700011.GIF" wi="269" he="69" />正交操纵变量<img file="FDA00002407664700012.GIF" wi="252" he="69" />和重置变量<img file="FDA00002407664700013.GIF" wi="101" he="56" />来设置这些电修整电压(u<sub>1</sub>,u<sub>2</sub>,u<sub>3</sub>,u<sub>4</sub>)中的每一个。 |
地址 |
德国法兰克福 |