| 发明名称 | 热阴极离子源系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种热阴极离子源系统，其包括多个电极以及分别与该多个电极相应的多个馈通，每个馈通均包括一导通至相应的电极的第一导体，该多个电极之间采用绝缘材料相互固接。本发明的该热阴极离子源系统不但结构简单可靠，而且拆装极其便捷。 | ||
| 申请公布号 | CN102891060A | 申请公布日期 | 2013.01.23 |
| 申请号 | CN201110202481.0 | 申请日期 | 2011.07.19 |
| 申请人 | 上海凯世通半导体有限公司 | 发明人 | 钱锋;陈炯;洪俊华 |
| 分类号 | H01J37/08(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人 | 薛琦;王婧荷 |
| 主权项 | 一种热阴极离子源系统，其包括多个电极以及分别与该多个电极相应的多个馈通，每个馈通均包括一导通至相应的电极的第一导体，其特征在于，该多个电极之间采用绝缘材料相互固接。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区牛顿路200号7号楼1号 | ||